EPS-1000探針臺(tái)

的手動(dòng)探針臺(tái)，有鎖針設(shè)計(jì)防止回針，臺(tái)面快速升降方便晶圓測(cè)試，適合科研及微電子器件的失效分析。

產(chǎn)品規(guī)格：
- 鍍金真空樣品吸盤(pán)：4", 6", 8"等；
- 樣品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8"等；
- 樣品卡盤(pán)平整度：10um；
- 探針座精度：0.7um；
- 樣品卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)(Phi)：360度；
- 探針臺(tái)臺(tái)面快速升降；
- 探針鎖位設(shè)計(jì)，防止回針；
 

產(chǎn)品規(guī)格：
- 鍍金真空樣品吸盤(pán)：4", 6", 8"等；
- 樣品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8"等；
- 樣品卡盤(pán)平整度：10um；
- 探針座精度：0.7um；
- 樣品卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)(Phi)：360度；
- 探針臺(tái)臺(tái)面快速升降；
- 探針鎖位設(shè)計(jì)，防止回針；
 
可選附件：
- 顯微鏡X/Y移動(dòng)；
- CCD視頻鏡頭；
- 加熱臺(tái)；
- 黑箱、屏蔽箱；
- 防振平臺(tái)；
- 高倍顯微鏡 (2000X)；
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